РКС: Технология изготовления маятниковых узлов акселерометров

2020: Разработка технологии группового изготовления маятниковых узлов чувствительных элементов акселерометров

Специалисты центра микроэлектроники холдинга «Российские космические системы» (РКС, входит в Госкорпорацию «Роскосмос») разработали технологию группового изготовления маятниковых узлов чувствительных элементов акселерометров. Начало серийного производства на основе данной технологии позволит существенно снизить стоимость этих элементов систем навигации и управления космической и авиатехники. Об этом 27 мая 2020 года сообщила пресс-служба РКС.

Использование микромеханических маятниковых узлов чувствительных элементов акселерометров дает возможность построения гаммы приборов для систем навигации и управления объектами.

В центре микроэлектроники РКС разработаны две технологии группового изготовления кремниевых маятниковых узлов емкостного и компенсационного типа. Мы также разработали технологию группового изготовления кварцевых маятниковых узлов компенсационного типа, сказал заместитель руководителя отдела разработки микромеханических систем РКС Андрей Корпухин.

На основе данных технологий в РКС освоено мелкосерийное производство емкостных и компенсационных кремниевых маятниковых узлов. Во всех технологиях используются пластины 100 мм, что позволяет заметно снизить затраты при их изготовлении.

Эти устройства удовлетворяют нашим потребностям и применяются при создании приборов для платформенных и бесплатформенных навигационных систем. Планируется внедрение элементов в состав аппаратуры перспективных навигационных систем, отметил представитель компании-заказчика, ведущий инженер-конструктор АО «Раменский приборостроительный завод» Александр Кожанов